SE850 UV/VIS/NIR光譜型橢偏儀
名稱：物性分析測試儀器
品牌：
型號：
簡介：簡單信息： SE850UV/VIS/NIR光譜型橢偏儀可測量大尺寸材料、單層與多層膜、界面、超薄膜與厚膜的厚度與光學(xué)參數(shù)。SE850DUV特別適用于高要求的研發(fā)應(yīng)用，例如測量玻璃上的薄透明膜、有機(jī)發(fā)光體、多層半導(dǎo)體材料復(fù)合膜、窗玻璃上的低e...
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- 產(chǎn)品介紹
簡單信息： SE850UV/VIS/NIR光譜型橢偏儀可測量大尺寸材料、單層與多層膜、界面、超薄膜與厚膜的厚度與光學(xué)參數(shù)。SE850DUV特別適用于高要求的研發(fā)應(yīng)用，例如測量玻璃上的薄透明膜、有機(jī)發(fā)光體、多層半導(dǎo)體材料復(fù)合膜、窗玻璃上的低e鍍層、最新微電子應(yīng)用如SOI、高k和低k材料，也能分析各向異性和非均勻性樣品。選件.
光譜范圍: 350 nm - 1700 nm
SE 850是SENTECH公司的紫外-可見光-近紅外光譜橢偏儀，是基于紫外-可見光波段快速二極管陣列探測器和近紅外波段快速干涉調(diào)制探測的高性能光譜橢偏儀，能夠快速獲得數(shù)據(jù)并在全波段解析。應(yīng)用FT-IR光譜儀不但能夠提高測量速度、分辨率和信噪比，還能夠提供自動波長校準(zhǔn)。
主要應(yīng)用
·測量單層膜或多層膜的厚度和折射率
·在紫外-可見光-近紅外波段測量材料的光學(xué)性質(zhì)
·測量厚度梯度
·測量膜表面和界面間的粗糙程度
·確定材料成分
·分析較厚的膜，厚度范圍可到30微米
·適合測量In攙雜的半導(dǎo)體材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)
選項(xiàng)
·紫外光譜擴(kuò)展選項(xiàng)，280 - 850 nm
·近紅外光譜擴(kuò)展選項(xiàng)，1700 - 2300 nm
·計算機(jī)控制高性能消色差補(bǔ)償器
·計算機(jī)控制起偏器
·計算機(jī)控制自動角度計, 40º-90º, 精度0.01º
·手動x-y載物臺，150 mm行程
·電機(jī)驅(qū)動x-y載物臺，行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌圖掃描軟件
·透射測量樣品夾具
·攝象頭選項(xiàng)，用于樣品對準(zhǔn)和表面檢測
·液體膜測量單元
·反射式膜厚儀FTPadvanced, 光斑直徑80微米
·微細(xì)光斑選項(xiàng)
·自動對焦選項(xiàng)，結(jié)合地貌圖掃描選項(xiàng)
·SENTECH標(biāo)準(zhǔn)樣片
·附加許可，使SpectrRay II軟件可以用于多臺電腦
光譜橢偏儀軟件SpectraRay II
基于windows系統(tǒng)的 SpectraRay II 操作軟件包括一個全面的的建模、模擬和擬合軟件包，操作向?qū)?，自動輸出結(jié)果，單鍵操作，使得軟件界面友好并且橢偏儀操作簡易。
通過運(yùn)行操作向?qū)?，能夠使操作變的簡單。操作向?qū)軌蛑笇?dǎo)用戶完成標(biāo)準(zhǔn)的測量程序：測量數(shù)據(jù)，擬合，輸出結(jié)果。操作向?qū)軌驅(qū)?fù)雜的測量和擬合的設(shè)置變的簡易。
SpectraRay II 軟件也能夠進(jìn)行反射測量和透射測量。
報告向?qū)軌蜃詣油瓿蓪y量結(jié)果輸出到一個web文件。
商品名稱： UV/VIS/NIR光譜型橢偏儀
商品型號： SE850
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