DUV/VIS/NIR光譜型橢偏儀SE800DUV
名稱：物性分析測(cè)試儀器
品牌：
型號(hào)：
簡(jiǎn)介：簡(jiǎn)單信息： SE800DUV深紫外主要用于研究超薄膜、表面粗糙度，并可研究溫度、應(yīng)力、張力、摻雜、組份、晶態(tài)等對(duì)材料禁帶寬度的影響；深紫外也可研究AlGaN, AlN等寬禁帶材料，測(cè)量膜厚0-10nm?？梢姽饪蓽y(cè)量折射率梯度。選件請(qǐng)參考SE...
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- 產(chǎn)品介紹
簡(jiǎn)單信息： SE800DUV深紫外主要用于研究超薄膜、表面粗糙度，并可研究溫度、應(yīng)力、張力、摻雜、組份、晶態(tài)等對(duì)材料禁帶寬度的影響；深紫外也可研究AlGaN, AlN等寬禁帶材料，測(cè)量膜厚0-10nm?？梢姽饪蓽y(cè)量折射率梯度。選件請(qǐng)參考SE800選件。
光譜范圍: 190 nm - 950 nm
SE 800 DUV 針對(duì)要求苛刻的應(yīng)用而設(shè)計(jì)，如玻璃上的極薄透明膜，平板印刷中的光刻膠材料和減反射膜，透明或吸收基底上的多層膜，高級(jí)微電子應(yīng)用比如SOI，ONOPO和高k值材料。各向異性材料和非均勻樣品也能夠被分析。
SE 800DUV 是基于在紫外-可見光-近紅外波段的快速二極管陣列探測(cè)器高性能光譜橢偏儀，能夠快速獲得數(shù)據(jù)并在全波段解析，配置了高精度延遲器和電腦控制起偏器。SE 800DUV基于步進(jìn)掃描分析操作原理。分析器由光柵和光電二極管陣列組成。
SE 800DUV的深紫外概念被設(shè)計(jì)針對(duì)低散射光線，對(duì)低反射樣品也有很高靈敏度。
主要應(yīng)用
·測(cè)量單層膜或多層膜的厚度和折射率。
·測(cè)量化合物薄膜，比如SiOxNy, AlGaN
·在紫外-可見光-近紅外波段測(cè)量材料的光學(xué)性質(zhì)
·測(cè)量指數(shù)梯度
·測(cè)量膜表面和界面間粗糙程度
·確定材料成分
·分析較厚的膜，厚度范圍可到30微米
·適合測(cè)量In攙雜半導(dǎo)體材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)
選項(xiàng)
·紫外光譜擴(kuò)展選項(xiàng)，280 - 850 nm
·近紅外光譜擴(kuò)展選項(xiàng)，1700 - 2300 nm
·電腦控制高性能消色差補(bǔ)償器，針對(duì)紫外-可見光波段
·電腦控制起偏器
·電腦控制自動(dòng)角度計(jì), 40º-90º, 精度0.01º
·手動(dòng)x-y載物臺(tái)，150 mm行程
·電機(jī)驅(qū)動(dòng)x-y載物臺(tái)，行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌圖掃描軟件
·透射測(cè)量樣品夾具
·攝象頭選項(xiàng)，用于樣品校準(zhǔn)和表面監(jiān)測(cè)
·液體膜測(cè)量單元
·反射式膜厚儀 FTPadvanced, 光斑直徑80 mm
·微細(xì)光斑選項(xiàng)
·自動(dòng)對(duì)覺選項(xiàng)，結(jié)合地貌圖掃描選項(xiàng)
·SENTECH 標(biāo)準(zhǔn)樣片
·附加許可，使 SpectrRay II 軟件可以用于多臺(tái)電腦
光譜橢偏儀軟件SpectraRay II
SpectraRay II 操作軟件基于windows系統(tǒng)，包括全面的的建模、仿真和擬合軟件包，操作向?qū)?，自?dòng)輸出結(jié)果，單鍵操作，使軟件界面友好并使橢偏儀操作簡(jiǎn)易。
通過操作向?qū)?，能夠使操作變得?jiǎn)單。操作向?qū)軌蛑笇?dǎo)用戶完成標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量過程：測(cè)量數(shù)據(jù)、驚醒擬合并輸出結(jié)果。 操作向?qū)軌驅(qū)?fù)雜的測(cè)量、擬合設(shè)置變德簡(jiǎn)易。
SpectraRay II 軟件也能夠進(jìn)行反射光譜測(cè)量和透射光譜測(cè)量。
報(bào)告向?qū)軌蜃詣?dòng)完成將測(cè)量結(jié)果輸出到一個(gè)web文件。
商品名稱： DUV/VIS/NIR光譜型橢偏儀
商品型號(hào)： SE800DUV
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