Keithley吉時(shí)利 數(shù)字源表源測(cè)量單元（SMU）2600B系列
名稱：其他儀器與工具
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簡(jiǎn)介：Keithley吉時(shí)利 系統(tǒng)數(shù)字源表 ? 源測(cè)量單元（SMU）儀器 2600B系列系統(tǒng)數(shù)字源表源測(cè)量單元（SMU）儀表是業(yè)界一流的電流/電壓源 與測(cè)量解決方案，它是利用吉時(shí)利第三代源測(cè)量單元（SMU）技術(shù)建造的。2600B 系列產(chǎn)品包括單通...
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- 產(chǎn)品介紹
Tektronix泰克 數(shù)字源表源測(cè)量單元（SMU）2600B系列是業(yè)界一流的電流/電壓源 與測(cè)量解決方案，它是利用吉時(shí)利第三代源測(cè)量單元（SMU）技術(shù)建造的。Tektronix泰克 數(shù)字源表源測(cè)量單元（SMU）2600B系列產(chǎn)品包括單通道和雙通道型號(hào)，集成了高精密電源、真正電流源、6位半數(shù)字多用表（DMM）、任意波形發(fā)生器、脈沖發(fā)生器以及電子負(fù)載等功能——這些功能都在一個(gè)高度集成的儀器機(jī)箱內(nèi)。這是一個(gè)功能強(qiáng)大的解決方案，大大提高了從臺(tái)式 I/V特性分析道高度自動(dòng)化生產(chǎn)測(cè)試等各種應(yīng)用中的測(cè)試效率。對(duì)于臺(tái)式應(yīng)用，Tektronix泰克 數(shù)字源表源測(cè)量單元（SMU）2600B系列數(shù)字源表內(nèi)置基于Java的測(cè)試軟件，支持即插即用I/V測(cè)試，可以通過(guò)世界各地任何計(jì)算機(jī)瀏覽器運(yùn)行。對(duì)于自動(dòng)化系統(tǒng)應(yīng)用，2600B系列數(shù)字源表的測(cè)試腳本處理器(TSP)，可以運(yùn)行儀器內(nèi)存儲(chǔ)的完整測(cè)試程序，實(shí)現(xiàn)業(yè)界最佳的吞吐量。在更大型的多通道應(yīng)用中，吉時(shí)利的TSP-Link技術(shù)與TSP協(xié)同工作，實(shí)現(xiàn)了高度、SMU-per-pin并行測(cè)試。由于2600B系列數(shù)字源表源測(cè)量單元（SMU）儀表具有不需要主機(jī)的、完全隔離的通道，因此，可以根據(jù)測(cè)試應(yīng)用需求的進(jìn)展，很容易進(jìn)行重新配置和重新部署。
Tektronix泰克 數(shù)字源表源測(cè)量單元（SMU）2600B系列是業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)電流-電壓源和測(cè)量解決方案，適用于高度自動(dòng)化生產(chǎn)測(cè)試應(yīng)用。 雙通道和單通道型號(hào)都緊密集成一個(gè)精密電源、真正電流源、數(shù)字萬(wàn)用表和具有脈沖生成功能的電子負(fù)載。 另外，TSP® 技術(shù)可運(yùn)行完整測(cè)試程序，適用于自動(dòng)化系統(tǒng)應(yīng)用，TSP-鏈路®技術(shù)允許菊花式鏈接最多 64 條通道，適用于大容量并行測(cè)試。
完整的生產(chǎn)測(cè)試，無(wú)需犧牲空間
滿足您的所有生產(chǎn)測(cè)試需求，在同一空間內(nèi)有兩條完全隔離的寬動(dòng)態(tài)源和測(cè)量通道。 每條 40 W 通道提供 6½ 位精確分辨率源，在小于 100 µs 脈沖寬度和設(shè)定值的 0.1% 范圍內(nèi)，測(cè)量 10 A 到 0.1 fA 和 200 V 到 100 nV。
特點(diǎn)
- 在同一空間內(nèi)可有 2 條通道
- 最寬的電壓和電流動(dòng)態(tài)范圍
- 高度準(zhǔn)確的 100 µs 脈沖可擴(kuò)展直流生產(chǎn)測(cè)試能力
嵌入式腳本提供無(wú)與倫比的生產(chǎn)吞吐量
測(cè)試腳本處理器 (TSP®) 技術(shù)可在 SMU 儀器內(nèi)嵌入和執(zhí)行完整測(cè)試程序，提供業(yè)界最佳性能。
特點(diǎn)
- 消除與 PC 之間耗時(shí)的總線通信
- 高級(jí)數(shù)據(jù)處理和流量控制
- 通用型探頭/處理程序控制
系統(tǒng)性能，無(wú)主機(jī)
TSP-Link® 技術(shù)支持?jǐn)U展多達(dá) 64 條通道，支持高速、SMU-per-pin 并行測(cè)試（而不使用主機(jī)）。 <500 ns 時(shí)所有通道同時(shí)獨(dú)立受控。
特點(diǎn)
- 支持 <500 ns 通道間同步
- 可達(dá) 32 條或 64 條獨(dú)立 SMU 通道
- 隨著測(cè)試要求變化輕松重新配置
適合生產(chǎn)的最佳低電流性能
2635B 和 2636B SMU 在最低 100 pA 范圍內(nèi)提供 0.1 fA、10-16 分辨率，減少超低電平樣本檢定煩惱，確保生產(chǎn)成功。
特點(diǎn)
- 在最低電流范圍內(nèi)穩(wěn)定時(shí)間快 7 倍
- 具有市面上的最佳低電流分辨率
- 直接三芯同軸連接簡(jiǎn)化了設(shè)置
| 型號(hào) | 通道 | 最大電流源/量程 | 最大電壓源/量程 | 測(cè)量分辨率（電流/電壓） | 電源 |
| 2601B | 1 | 10A | 40V | 100fA / 100nV | 200 W |
| 2611B | 1 | 10A | 200V | 100fA / 100nV | 200 W |
| 2604B | 2 | 10A | 40V | 100fA / 100nV | 200 W |
| 2614B | 2 | 10A | 200V | 100fA / 100nV | 200 W |
| 2612B | 2 | 10A | 200V | 100fA / 100nV | 200 W |
| 2602B | 2 | 10A | 40V | 100fA / 100nV | 200 W |
| 2635B | 1 | 10A | 200V | 0.1fA / 100nV | 200 W |
| 2634B | 2 | 10A | 200V | 1fA / 100nV | 200 W |
| 2636B | 2 | 10A | 200V | 0.1fA / 100nV | 200 W |
Tektronix泰克 數(shù)字源表源測(cè)量單元（SMU）2600B系列是唯一內(nèi)置基于Java測(cè)試軟件的源測(cè)量單元（SMU）儀表， 支持真正的即插即用I/V特性分析，可以通過(guò)世界各地任何計(jì)算機(jī)瀏覽器運(yùn)行。這個(gè)獨(dú)特功能提高了研發(fā)、教育和QA/FA等各種應(yīng)用的測(cè)試效率。只需通過(guò)附送的 LAN電纜，將2600B數(shù)字源表連接至互聯(lián)網(wǎng)，打開瀏覽器，輸入2600B的IP低至，即可開始測(cè)試。測(cè)試結(jié)果可以下載之電子數(shù)據(jù)表（如Excel），供進(jìn)一步的分析和格式化，或者導(dǎo)入其他文檔或演示文稿。
采用TSP技術(shù)，提供無(wú)與倫比的吞吐量，適合自動(dòng)測(cè)試
對(duì)于需要最高自動(dòng)化和吞吐量級(jí)別的測(cè)試應(yīng)用來(lái)說(shuō)，2600B數(shù)字源表的TSP技術(shù)提供了業(yè)界最佳的性能。TSP技術(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越傳統(tǒng)的測(cè)試命令序列……它完全嵌入，然后，在源測(cè)量單元（SMU）儀器內(nèi)部執(zhí)行完整的測(cè)試程序。這實(shí)際上避免了所 有耗時(shí)的總線-PC控制器之間的通信，因此，大幅縮短整個(gè)測(cè)試時(shí)間。
TSP技術(shù)將執(zhí)行來(lái)自2600B系列數(shù)字源表內(nèi)非易失性存儲(chǔ)的完整測(cè)試程序。
通過(guò)TSP-Link技術(shù)，實(shí)現(xiàn)SMU-Per-Pin并行測(cè)試
TSP-Link是通道擴(kuò)展總線，支持多 個(gè)2600B系列數(shù)字源表互連，成為一個(gè)單 一、嚴(yán)格同步的多通道系統(tǒng)。2600B的 TSP-Link技術(shù)與其TSP技術(shù)協(xié)同工作，支 持高速、SMU-per-pin并行測(cè)試。與大型 自動(dòng)測(cè)試設(shè)備系統(tǒng)等其他高速解決方案 不同的是，2600B在無(wú)需主機(jī)成本或負(fù)擔(dān) 情況下，實(shí)現(xiàn)了并行測(cè)試性能?；赥SP -Link技術(shù)的系統(tǒng)，還支持出眾的靈活性， 可以根據(jù)測(cè)試需求的變化，迅速而容易 地對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行重新配置。
在TSP-Link系統(tǒng)中，所有通道的同步都控制在 500ns以內(nèi)。
2400型軟件仿真
2600B系列數(shù)字源表，與為吉時(shí)利2400 型數(shù)字源表源測(cè)量單元（SMU）儀表開發(fā)的測(cè)試代碼兼容。這使得基于2400型數(shù)字源 表的測(cè)試系統(tǒng)更容易地升級(jí)至2600B系列， 并使測(cè)試速度提高高達(dá)80%。此外，它還提供了從SCPI編程轉(zhuǎn)到吉時(shí)利TSP技術(shù)的過(guò)渡路徑，實(shí)施后，可以進(jìn)一步縮短測(cè)試時(shí)間。
為了全面支持遺留的測(cè)試系統(tǒng)，在這個(gè)模式下，還完全支持2400型源存儲(chǔ)清單測(cè)試序列。
第三代SMU設(shè)計(jì)，確保實(shí)現(xiàn)更快的測(cè)試時(shí)間
在早期2600系列儀器成熟的架構(gòu)基礎(chǔ) 上，2600B系列最新的源測(cè)量單元（SMU） 儀表設(shè)計(jì)從幾個(gè)方面提高了測(cè)試速度。例 如，早期的設(shè)計(jì)采用的是并聯(lián)電流量程調(diào) 節(jié)結(jié)構(gòu)，而2600 B系列采用了已申請(qǐng)專利 的串聯(lián)量程調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)具有更快 更平滑的量程變換過(guò)程和穩(wěn)定速度更快的 輸出。
SMU-Per-Pin并行測(cè)試采用TSP與TSP-Link技術(shù)，提高測(cè)試吞吐量，并降低測(cè)試成本。
2600B系列數(shù)字源表源測(cè)量單元 （SMU）儀表設(shè)計(jì)支持對(duì)各種負(fù)載使用 兩種操作模式。在普通模式下，源測(cè) 量單元（SMU）儀表為最大吞吐量提供 高帶寬性能。在高電容模式下，源測(cè) 量單元（SMU）儀表使用較慢的帶寬， 為較高電容負(fù)載提供魯棒的性能。
簡(jiǎn)化半導(dǎo)體元件測(cè)試、驗(yàn)證與分析
可選配的ACS Basic版本軟件實(shí)現(xiàn)了客戶效率的最大化，使客戶可以在開發(fā)、質(zhì)量認(rèn)證或故障分析中，對(duì)封裝器件進(jìn)行特性分析。主要特性包括：
- 內(nèi)容豐富、易于訪問(wèn)的測(cè)試庫(kù)
- 腳本編輯器，實(shí)現(xiàn)現(xiàn)有測(cè)試的快速定制
- 數(shù)據(jù)工具，便于迅速比較測(cè)試結(jié)果
- 公式工具，便于分析俘獲的曲線，并提供多種數(shù)據(jù)函數(shù)。
欲了解有關(guān)ACS Basic版本軟件的更多信息，參見(jiàn)ACS Basic版本數(shù)據(jù)表。
強(qiáng)大的軟件工具
除了基于Java的嵌入式即插即用軟 件以及可選配的ACS Basic版本軟件，免 費(fèi)Test Script Builder軟件工具，可以 幫助用戶創(chuàng)建、修改、調(diào)試和存儲(chǔ)TSP測(cè) 試腳本。圖1給出2600B系列數(shù)字源表軟 件工具的主要特性。
2600B系列產(chǎn)品3個(gè)最新型號(hào)的雙通道 臺(tái)式數(shù)字源表，提供業(yè)界最佳的價(jià)值 和性能
如果想調(diào)試設(shè)計(jì)問(wèn)題，首先必須知道存在問(wèn)題。每個(gè)設(shè)計(jì)工程師都要用大量的時(shí)間查找電路中的問(wèn)題，如果沒(méi)有合適的調(diào)試工具，這項(xiàng)任務(wù)耗時(shí)長(zhǎng)、非常麻煩。
為了滿足那些不需要一流系統(tǒng)級(jí)自 動(dòng)化能力的應(yīng)用需求，吉時(shí)利對(duì)2600B系 列數(shù)字源表進(jìn)行了擴(kuò)展，推出3中最新的 高性價(jià)比臺(tái)式型號(hào)產(chǎn)品——2604B、2614B和 2634B。這些型號(hào)產(chǎn)品性能分別與2602B、 2612B和2636B相似，但它們不包括TSP Link、接觸檢查以及數(shù)字I/O能力。
完整的自動(dòng)化系統(tǒng)解決方案
吉時(shí)利S500綜合測(cè)試系統(tǒng)是基于儀 器的、可高度配置的系統(tǒng)，適合器件、 晶圓或晶圓盒的半導(dǎo)體特性分析。S500 綜合測(cè)試系統(tǒng)基于已被證明的2600系列 系統(tǒng)數(shù)字源表源測(cè)量單元（SMU），提供 創(chuàng)新的測(cè)量特性與系統(tǒng)靈活性，可以根據(jù)需求進(jìn)行升級(jí)。其獨(dú)特的測(cè)量能力， 再加上強(qiáng)大而靈活的自動(dòng)特性分析套 件(ACS)軟件，為客戶提供全面的應(yīng)用 范圍和特性，這是市場(chǎng)上競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品所不具備的。
表1 2600B軟件工具
| 特征/功能 | ACS Basic版本 | 基于Java即插即用軟件 | Test Script Builder (TSB) |
|---|---|---|---|
| 說(shuō)明 | 半導(dǎo)體特性分析軟件， 用于元件測(cè)試、驗(yàn)證 與分析 | 迅速啟動(dòng)的、基于Java即插即用軟件工具，支持快速和容易的I-V測(cè)試，主要用于臺(tái)式和實(shí)驗(yàn)室用戶 | 為TSP儀器定制的腳本編寫工具 |
| 支持的硬件 | 2400系列、2600B系列、4200-SCS | 2600B系列 | 2600B系列，3700系列 |
| 支持的總線 | GPIB, LAN/LXI | LAN / LXI | GPIB, RS-232,LAN/LXI, USB |
| 功能 | 基于向?qū)У闹庇X(jué)圖形用戶接口（GUI），豐富的測(cè)試測(cè)試庫(kù)和曲線跟蹤能力 | 直線/對(duì)數(shù)掃描、脈沖、自定義掃描、單點(diǎn)源測(cè)量注意：可使用2600B的新API實(shí)現(xiàn)精確定時(shí)和通道同步 | 總體靈活的自定義腳本，功能齊全的調(diào)試器 |
| 數(shù)據(jù)管理 | 公式工具，包括多種數(shù)學(xué)函數(shù) | .csv文件導(dǎo)出 | 用戶定義 |
| 安裝 | 選購(gòu) | 不需要。內(nèi)嵌在儀表中 | 免費(fèi)下載或CD提供，安裝在PC上 |
當(dāng)您需要對(duì)封裝器件數(shù)據(jù)進(jìn)行快速采集時(shí)，通過(guò) ACS Basic版本軟件基于相當(dāng)?shù)挠脩艚缑?，很容?發(fā)現(xiàn)和運(yùn)行期望的測(cè)試，就像常見(jiàn)的 FET曲線跟 蹤測(cè)試一樣。
ACS Basic版本軟件具有靈活的軟件體系結(jié)構(gòu)，允許為 系統(tǒng)配置多種控制器與測(cè)試夾具，并可以根據(jù)應(yīng)用需要， 配置所需的數(shù)字源表數(shù)量。
典型應(yīng)用
各種器件的I-V功能測(cè)試和特征分析，包括：
-
分立和無(wú)源元件
– 兩抽頭器件——傳感器、磁盤驅(qū)動(dòng)器頭、金屬 氧化物可變電阻（MOV）、二極管、齊納二極 管、電容、熱敏電阻
– 三抽頭器件——小信號(hào)雙極結(jié)型晶體管（BJT）場(chǎng)效應(yīng)晶體管（FET），等等 - 簡(jiǎn)單IC器件——光學(xué)器件、驅(qū)動(dòng)器、開關(guān)、傳感 器、轉(zhuǎn)換器、穩(wěn)壓器
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集成器件——小規(guī)模集成（SSI）和大規(guī)模集成（LSI） – 模擬IC
– 射頻集成電路（RFIC）
– 專用集成電路（ASIC）
– 片上系統(tǒng)（SOC）器件 - 光電器件，例如發(fā)光二極管（LED）、激光二極管高亮度LED（HBLED）、垂直腔面發(fā)射激光器 （VCSEL）、顯示器
-
圓片級(jí)可靠性
– NBTI、TDDB、HCI、電遷移 - 太陽(yáng)能電池
- 電池
- 更多…
2604B/2614B型儀表的背板
(單通道2601B, 2611B, 2635B沒(méi)有給出)。
2636B型儀表的背板
在第一和第三象限，2600B系列儀器用作信號(hào)源，向負(fù)載提供 電源。在第二和第四象限，2600B系列儀器用作信號(hào)宿，內(nèi)部 消耗功率。