布魯克Bruker JVX7300HR 半導(dǎo)體計(jì)量儀
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簡介：強(qiáng)大的JVX7300HR是一個(gè)先進(jìn)的布魯克Bruker JVX7300HR 半導(dǎo)體計(jì)量儀。布魯克Bruker JVX7300HR 半導(dǎo)體計(jì)量儀包含了專利FastHRXRD FastXRR，監(jiān)控性能優(yōu)越。JVX7300HR是廣泛應(yīng)用于工業(yè)監(jiān)控...
- 產(chǎn)品介紹
布魯克Bruker JVX7300HR 半導(dǎo)體計(jì)量儀包含了專利FastHRXRD FastXRR，監(jiān)控性能優(yōu)越。布魯克Bruker JVX7300HR 半導(dǎo)體計(jì)量儀是廣泛應(yīng)用于工業(yè)監(jiān)控的儀器。通過使用HRXRD和XRR頻道、組合、放松、應(yīng)變和單個(gè)和多個(gè)層的厚度epi電影可以提取,甚至針對fd-soi和強(qiáng)迫癥墊。
測量和分析能力方面的最新進(jìn)展允許如果應(yīng)變測量的決心強(qiáng)迫癥墊。平行線的強(qiáng)迫癥墊有一系列長度等于test-pad大小與Si CD和鍺硅印刷是印刷在S / D的大小。這種形式代表結(jié)構(gòu)相關(guān)的設(shè)備測量通道的壓力。FastXRR可以用來衡量個(gè)人堆棧中的每個(gè)超薄層厚度和密度。這可以用于high-K /金屬門的過程,用一個(gè)測量覆蓋每一層。
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