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捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

名稱:其他儀器與工具

品牌:

型號:

簡介:捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡新一代FE-SEM旗艦機(jī)型。 它繼承了上一代廣獲好評的如極高的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時,操作性能極大地簡單化。 該設(shè)備不依賴操作者的技能,始終能夠發(fā)揮其最佳性能。 ...

  • 產(chǎn)品介紹
捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡新一代FE-SEM旗艦機(jī)型。 它繼承了上一代廣獲好評的如極高的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時,操作性能極大地簡單化。 該設(shè)備不依賴操作者的技能,始終能夠發(fā)揮其最佳性能。
捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn):
新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine(New Electron Optical Engine),是JEOL電子光學(xué)技術(shù)薈萃的結(jié)晶。 它綜合了透鏡控制系統(tǒng)和自動化技術(shù),即使改變電子光學(xué)條件,光軸的偏離也極小,大大提高了可操作性及觀察精度。 無論是誰都可以很簡便地發(fā)揮出儀器原本的功能。GBSH 是在低加速電壓下提高分辨率的一種方法。 新開發(fā)的GBSH-S可以給樣品臺施加高達(dá)5 kV的偏壓。 因此,使用GBSH模式不需要使用專用的樣品桿就可以無縫過渡到其他模式。
捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡圖片
分辨率 1.1 nm (0.5 kV)*1、1.0 nm*2
0.7 nm (1 kV)*1、0.7 nm*2
0.7 nm (15 kV)*1、0.6 nm*2
3.0 nm (5 kV、WD: 10 mm、5 nA)*1
*1: Gap method、*2:Edge method
倍率 ×25 ~ ×1,000,000
加速電壓 0.01 ~ 30 kV
探針電流 數(shù) pA ~ 500 nA
檢測器(標(biāo)配) 高位檢測器(UED)、低位檢測器(LED)
電子槍 浸沒式肖特基Plus場發(fā)射電子槍
最佳光闌角控制鏡 內(nèi)置
物鏡 超級混合式物鏡/SHL
自動功能 自動聚焦、自動消像散、自動調(diào)節(jié)亮度、自動調(diào)節(jié)襯度
大景深模式(LDF) 內(nèi)置
樣品臺 全對中測角樣品臺
樣品移動 X:70mm  Y:50mm  Z:2 ~ 41mm   傾斜軸:-5 ~ 70° 旋轉(zhuǎn):360°
馬達(dá)驅(qū)動 5軸馬達(dá)驅(qū)動
樣品交換室 最大直徑: 100mm    最大高度: 40mm
抽真空系統(tǒng) SIP、TMP、RP

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