捷歐路JEOL TP 系列高頻感應(yīng)等離子體發(fā)生器通過高頻感應(yīng)加熱產(chǎn)生大約1萬度的熱等離子體,經(jīng)過物理/化學(xué)反應(yīng)過程,能合成納米顆粒及厚膜(鍍膜)。
捷歐路JEOL TP 系列高頻感應(yīng)等離子體發(fā)生器原理・特征:在大氣壓或者接近大氣壓的低氣壓環(huán)境下,將高頻電源集中于局部,通過電磁感應(yīng)使各種氣體在瞬間變成1萬度左右的超高溫等離子體。熱等離子體屬于電弧放電,往等離子體中充入原料(粉末、氣體或液體),經(jīng)過蒸發(fā)、熔融、分解、化學(xué)反應(yīng)等,能進(jìn)行納米顆粒的合成、微細(xì)粉末的球化及反應(yīng)、鍍膜、有害氣體的分解等。
與直流(DC)電弧放電相比能獲得大容積的等離子體。氣體流速比直流(DC)等離子體相比要慢10倍,原料可以被充分地加熱、反應(yīng)。由于沒有電極,也就沒有電極材料的污染,整個(gè)過程非常純凈。具有氧化性、還原性、腐蝕性的各種氣體都可以使用。超出了機(jī)械粉粹的能力,能將顆粒微細(xì)化到納米級(jí)。由于能夠利用等離子體中的原子、離子、激發(fā)態(tài)分子和自由基等高能量化學(xué)物種的反應(yīng),有望用來合成新物質(zhì)、新材料。高頻振蕩器對(duì)高頻感應(yīng)等離子體負(fù)載具備最適合的匹配電路及控制性能,能充分地應(yīng)對(duì)異常放電,電源效率業(yè)界領(lǐng)先。