布魯克Bruker JVSensus 半導體計量儀
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簡介：布魯克Bruker JVSensus 半導體計量儀是最新的計量系統(tǒng)儀器。布魯克Bruker JVSensus 半導體計量儀有助于發(fā)現(xiàn)問題過程中遇到晶圓生產(chǎn)使用最新的x射線衍射成像(XRDI)技術(shù)。布魯克Bruker JVSensus 半導體...
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布魯克Bruker JVSensus 半導體計量儀是最新的計量系統(tǒng)儀器。布魯克Bruker JVSensus 半導體計量儀有助于發(fā)現(xiàn)問題過程中遇到晶圓生產(chǎn)使用最新的x射線衍射成像(XRDI)技術(shù)。布魯克Bruker JVSensus 半導體計量儀應(yīng)用包括監(jiān)測邊緣損傷，超快速檢測防止昂貴的晶片破損。布魯克Bruker JVSensus 半導體計量儀監(jiān)控流程工具的任何技術(shù)節(jié)點,這樣可以減少周期時間和促進工廠擴張。布魯克Bruker JVSensus 半導體計量儀容易識別晶體缺陷，一旦缺陷被觀察到,非破壞性截面查看圖片可以執(zhí)行定位晶片內(nèi)的缺陷位置深度。測量可以執(zhí)行在毯子、圖案和金屬化晶片沒有樣品制備。缺陷可以被識別,即使模式是在晶片上。機器人裝載可以添加從2到300毫米大小的晶片,GaN Si或錠幻燈片,布魯克Bruker JVSensus 半導體計量儀可以在幾分鐘內(nèi)檢測滑。
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