布魯克Bruker JVX7300F-W 半導(dǎo)體計(jì)量?jī)x
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布魯克Bruker JVX7300F-W 半導(dǎo)體計(jì)量?jī)x擁有最新的系統(tǒng)控制。布魯克Bruker JVX7300F-W 半導(dǎo)體計(jì)量?jī)x是完全自動(dòng)化的，是由300毫米µXRF技術(shù)系統(tǒng)和其Ag模塊特性組成,分析組成下撞擊金屬。由于極其微小的x光光斑大小,與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手系統(tǒng)不同,個(gè)別測(cè)量是可行的,甚至10µm直徑,在這個(gè)例子中,使用小束剖面在單個(gè)模塊Ag組成。構(gòu)成可以快速、可靠地獲得,滿300mm晶圓與快速映射。非盟組成的地圖,Pd可以自動(dòng)生成。
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